广州迪川仪器仪表成功开发小型气体流量计

广州大川仪器仪表成功研制出小型气体流量计

德川仪器仪表：大川仪器仪表已研制出适用于空气、氢气、氦气、天然气等各种气体的小型、高精度气体流量计。，并在混合动力汽车和燃料电池电动汽车（MEMS）研讨会和展览会上展出。为了提高燃料电池汽车的动力性和效率，需要对燃料电池的空气和氢气流量进行控制。流量计可用于此控制，以测量空气和氢气的流量。

如

所示的气体流量计非常小，传感器部分的外形尺寸为2×2×0.4mm。在硅片上，采用MEMS技术形成齿形加热器，通过不同金属的组合形成压电效应形成温度传感器。温度传感器位于中间加热器的上、下、左、右位置。通过检测晶片上温度分布的变化，可以计算出气体流量。除了检测流速外，流量计还可用于了解气体流向，尽管目前的设备已将流速限制在一个方向。

可以支持多种气体，因为它可以根据气体类型修改流量和温度分布之间的关系。在四个温度传感器中，有两个用于校正。精度方面，***小值与***大值之比为1:1000时，精度为±5%；当比值为1:100时，精度为±2%。传感器部分的功耗只有几兆瓦，可用功率为