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广州迪川仪器仪表成功开发小型气体流量计

来源:加盟网 编辑:加盟君 2021-04-24 15:33

广州大川仪器仪表成功研制出小型气体流量计

德川仪器仪表:大川仪器仪表已研制出适用于空气、氢气、氦气、天然气等各种气体的小型、高精度气体流量计。,并在混合动力汽车和燃料电池电动汽车(MEMS)研讨会和展览会上展出。为了提高燃料电池汽车的动力性和效率,需要对燃料电池的空气和氢气流量进行控制。流量计可用于此控制,以测量空气和氢气的流量。

所示的气体流量计非常小,传感器部分的外形尺寸为2×2×0.4mm。在硅片上,采用MEMS技术形成齿形加热器,通过不同金属的组合形成压电效应形成温度传感器。温度传感器位于中间加热器的上、下、左、右位置。通过检测晶片上温度分布的变化,可以计算出气体流量。除了检测流速外,流量计还可用于了解气体流向,尽管目前的设备已将流速限制在一个方向。

可以支持多种气体,因为它可以根据气体类型修改流量和温度分布之间的关系。在四个温度传感器中,有两个用于校正。精度方面,***小值与***大值之比为1:1000时,精度为±5%;当比值为1:100时,精度为±2%。传感器部分的功耗只有几兆瓦,可用功率为

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